教育培训
| 申请号 | CN202110110973.0 | 申请日 | 2021-01-27 |
| 申请公布号 | CN114815490A | 申请公布日 | 2022-07-29 |
| 授权公布号 | CN114815490B | 授权公告日 | 2024-03-08 |
| 分类号 | G03F1/00;G03F1/70;H01L23/528;H01L27/02;H10B10/00 | ||
| 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; | ||
| 申请人名称 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | ||
| 申请人地址 | 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号 | ||
