申请号 | CN202010120908.1 | 申请日 | 2020-02-26 |
申请公布号 | CN113314595A | 申请公布日 | 2021-08-27 |
授权公布号 | CN113314595B | 授权公告日 | 2024-01-26 |
分类号 | H01L29/10;H01L23/367;H01L23/538;H01L29/423;H01L29/78;H01L21/768;H01L21/28;H01L21/336;B82Y40/00 | ||
分类 | 基本电气元件; | ||
申请人名称 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | ||
申请人地址 | 上海市浦东新区张江路18号 |