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台积电（中国）有限公司

上海市松江区文翔路4000号

企业知识产权

品牌专利信息(19)
申请号	类型	专利
CN202222352327.8	实用新型	离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备
CN202222352310.2	实用新型	一种导向装置
CN202223564476.7	实用新型	工艺系统
CN202222437650.5	实用新型	运输装置
CN202222534683.1	实用新型	预处理盒
CN202120568797.0	实用新型	晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统
CN202120570882.0	实用新型	晶圆载具的夹取装置
CN202120728436.8	实用新型	半导体设备的测量工装
CN202120669587.0	实用新型	测试平台
CN202120576274.0	实用新型	用于半导体制造的辅助工装
CN202120568798.5	实用新型	定位治具
CN202120570589.4	实用新型	一种晶圆传送系统
CN202120570954.1	实用新型	晶圆载具的存储装置
CN202120682638.3	实用新型	晶圆清洗设备及定位治具
CN202120694366.9	实用新型	链条松紧度测量装置
CN202120586247.1	实用新型	夹具及扩散装置
CN202222333941.X	实用新型	承载装置和晶圆冷却系统
CN202120671706.6	实用新型	晶圆电极的清洁装置
CN202120570708.6	实用新型	晶圆载具的开合装置

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