用于半导体制造的辅助工装

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

用于半导体制造的辅助工装

有效

专利申请进度

申请

2021-03-22

授权

2021-05-18

预估到期

2031-03-22

专利基础信息

申请号	CN202120576274.0	申请日	2021-03-22
授权公布号	CN213242520U	授权公告日	2021-05-18
分类号	H01L21/677;H01L21/687
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2021-05-18

授权

状态信息

授权

摘要

本申请涉及一种用于半导体制造的辅助工装，包括：基座，包括底板、与底板连接的侧板，以及与侧板的顶部连接的顶板，底板和顶板平行于水平面设置，侧板沿竖直方向延伸；升降机构，设置于顶板与底板之间，升降机构包括沿竖直方向可升降的承载构件；夹持机构，与承载构件连接，夹持机构包括用于夹持目标物体的夹持组件，以带动目标物体上升或者下降。该辅助工装能够以省时省力的方式快速拆卸或者更换目标物体，提高了工作效率。

更多专利

客服微信号
商务合作微信

服务热线：400-832-5988

商务QQ：85926368

关注公众号
访问小程序

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信