晶圆载具的开合装置_专利查询-品牌网

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专利状态

晶圆载具的开合装置

有效

专利申请进度

申请

2021-03-19

授权

2021-05-11

预估到期

2031-03-19

专利基础信息

申请号	CN202120570708.6	申请日	2021-03-19
授权公布号	CN213184234U	授权公告日	2021-05-11
分类号	H01L21/67;H01L21/687
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2021-05-11

授权

状态信息

授权

摘要

本申请涉及一种晶圆载具的开合装置。本申请实施例的开合装置包括：基座；支撑平台，设置于基座上且用于承载晶圆载具；第一动力机构，连接于支撑平台且用于驱动支撑平台沿上下方向移动；第二动力机构，设置于基座上且位于支撑平台沿纵向的一侧；两个夹持机构，沿横向相对设置，各夹持机构包括夹持臂和位于夹持臂内侧的夹块，夹块连接于夹持臂且能够沿夹持臂的长度方向滑动，夹持臂的一端连接于第二动力机构。第二动力机构用于驱动夹持臂转动和驱动夹持臂沿横向移动，以将两个夹块移动到晶圆载具沿横向的两侧并夹紧晶圆载具。

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