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专利状态

运输装置

有效

专利申请进度

申请

2022-09-14

授权

2022-12-16

预估到期

2032-09-14

专利基础信息

申请号	CN202222437650.5	申请日	2022-09-14
授权公布号	CN218069808U	授权公告日	2022-12-16
分类号	H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2022-12-16

授权

状态信息

授权

摘要

本申请实施例提供的运输装置用于与抽气泵连接，运输装置包括：基台和滑移组件。基台包括多个通孔，通孔用于与抽气泵的进气口连通；滑移组件设于基台，滑移组件包括导轨和滑座，导轨沿第一方向延伸，滑座与导轨可移动连接，多个通孔沿导轨设置。滑移组件中的滑座可减小悬浮粒子落入导轨内，通孔用于与抽气泵的进气口连通，运输装置在移动时产生的悬浮粒子，可以由抽气泵向通孔抽气吸走，从而可以提高运输装置的洁净度。

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