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专利状态
链条松紧度测量装置
有效
专利申请进度
申请
2021-04-06
授权
2021-06-08
预估到期
2031-04-06
专利基础信息
申请号
CN202120694366.9
申请日
2021-04-06
授权公布号
CN213397626U
授权公告日
2021-06-08
分类号
G01M13/023;G01M13/027
分类
测量;测试;
申请人名称
台积电(中国)有限公司
申请人地址
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
专利法律状态
2021-06-08
授权
状态信息
授权
摘要
本申请提供一种链条松紧度测量装置,包括测量组件和施力组件。测量组件包括尺本体、支撑件和游标部,支撑件和游标部连接于尺本体形成容纳空间,游标部包括量爪和设置于量爪的按压部。施力组件包括套筒、弹性件、连接杆和抵接杆,套筒具有容纳腔,连接杆、弹性件和抵接杆沿套筒的轴向依次抵接设置于容纳腔,套筒位于容纳空间,连接杆连接于按压部,抵接杆穿过支撑件且用于抵接待测链条。套筒侧壁设置有与弹性件的压缩量相对应的弹力刻度部、以及与弹力刻度部相对应的观察孔。本申请提供的链条松紧度测量装置基本实现了输出力的恒定,避免了人工施力的不确定性,大大提高了链条松紧度测量的准确性。
更多专利
1
晶圆清洗设备及定位治具
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链条松紧度测量装置
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夹具及扩散装置
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7
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8
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运输装置
11
预处理盒
12
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半导体设备的测量工装
15
承载装置和晶圆冷却系统
16
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17
测试平台
18
一种晶圆传送系统
19
晶圆载具的夹取装置
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