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专利状态
定位治具
有效
专利申请进度
申请
2021-03-19
授权
2021-06-25
预估到期
2031-03-19
专利基础信息
申请号
CN202120568798.5
申请日
2021-03-19
授权公布号
CN213532672U
授权公告日
2021-06-25
分类号
B25J17/00;B25J9/00
分类
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手;
申请人名称
台积电(中国)有限公司
申请人地址
中国台湾新竹市
专利法律状态
2021-06-25
授权
状态信息
授权
摘要
本申请涉及一种定位治具,用于将手指夹具定位于机械臂的弧形夹钳上,该定位治具包括:定位构件,一端具有定位槽和定位部,另一端具有与定位槽连通的滑槽,定位槽与第一部件的部分外轮廓相匹配,定位构件通过定位部与弧形夹钳连接;活动构件,容纳于滑槽,活动构件朝向定位槽的一侧能够与第一部件的另一部分外轮廓相匹配;固定组件,用于在活动构件沿滑槽朝向定位槽移动至预定位置时固定活动构件。该定位治具用于更换机械臂的手指夹具时,可以实现手指夹具的精准定位,保证更换位置的一致性。
更多专利
1
晶圆清洗设备及定位治具
2
晶圆载具的夹取装置
3
夹具及扩散装置
4
承载装置和晶圆冷却系统
5
晶圆位置采集机构及晶圆纠偏系统
6
一种晶圆传送系统
7
半导体设备的测量工装
8
晶圆载具的存储装置
9
预处理盒
10
一种导向装置
11
离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备
12
工艺系统
13
运输装置
14
晶圆载具的开合装置
15
定位治具
16
测试平台
17
用于半导体制造的辅助工装
18
链条松紧度测量装置
19
晶圆电极的清洁装置
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