晶圆清洗设备及定位治具_专利查询-品牌网

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

晶圆清洗设备及定位治具

有效

专利申请进度

申请

2021-04-02

授权

2021-06-15

预估到期

2031-04-02

专利基础信息

申请号	CN202120682638.3	申请日	2021-04-02
授权公布号	CN213459689U	授权公告日	2021-06-15
分类号	H01L21/68;H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

专利法律状态

2021-06-15

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开了一种晶圆清洗设备及定位治具。晶圆清洗设备包括：定位基座，包括可转动的夹具，夹具用于固定晶圆；定位治具，可拆卸地固定于夹具上，定位治具包括平行于水平面设置的定位面，定位面上设置有多个同心圆和以多个同心圆的圆心为基准的刻度线，且圆心位于夹具的旋转中心线上；清洗装置，与定位基座相对设置，清洗装置包括可移动的清洗喷嘴，清洗喷嘴能够朝向定位面滴落液滴，并通过液滴示出的坐标位置与圆心之间的偏差调整清洗喷嘴的位置，以使液滴落在圆心上。本申请通过在定位治具的定位面上设置多个同心圆和以多个同心圆的圆心为基准的刻度线，能够定量获取清洗喷嘴与可转动夹具的位置偏差，提高清洗喷嘴的定位准确性。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信