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专利状态

测试平台

有效

专利申请进度

申请

2021-04-01

授权

2021-06-15

预估到期

2031-04-01

专利基础信息

申请号	CN202120669587.0	申请日	2021-04-01
授权公布号	CN213456087U	授权公告日	2021-06-15
分类号	G01M13/00;G01B21/02;G01B21/22;G01B21/30
分类	测量；测试;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

专利法律状态

2021-06-15

授权

状态信息

授权

摘要

本申请涉及一种测试平台，用于监测待测设备的运行精度，该测试平台包括：基座，包括固定架和与固定架连接的基准件，固定架用于固定待测设备，基准件具有朝向待测设备的运动部件的基准面；驱动装置，与基座连接，驱动装置用于为运动部件提供动力；感测单元，设置于运动部件上，用于感测运动部件运动到指定位置后其与基准面之间的距离或者角度；数据处理单元，配置为根据感测单元感测的距离与预设距离之间的偏差或者角度与预设角度之间的偏差判断待测设备是否满足验收要求。该测试平台能够自动监测待测设备的运行精度，并进行可量化的数据分析，提高了测试效率和测试结果的可信度。

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