离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备

有效

专利申请进度

申请

2022-09-05

授权

2022-11-29

预估到期

2032-09-05

专利基础信息

申请号	CN202222352327.8	申请日	2022-09-05
授权公布号	CN217933703U	授权公告日	2022-11-29
分类号	H01J37/08;H01J37/317
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2022-11-29

授权

状态信息

授权

摘要

本申请提供了一种离子源灯丝结构、离子源装置及离子注入设备。离子源灯丝结构包括灯丝、馈电连接杆和夹持部件。灯丝包括本体和安装端子。灯丝包括本体和安装端子。馈电连接杆包括主体部和设置有安装孔的连接部，连接部设置于主体部沿自身长度方向上的一端，主体部沿自身长度方向上的另一端与电源连接。夹持部件设置于安装孔，夹持部件为套筒状结构，夹持部件包括弹性结构段和固定段，固定段设置于弹性结构段沿自身长度方向上的两端，弹性结构段具有径向形变量，弹性结构段与安装端子插接式连接并向安装端子提供夹紧力。根据本申请实施例能够改善离子源灯丝结构中灯丝与馈电连接杆接触处的发热现象。

更多专利

客服微信号
商务合作微信

服务热线：400-832-5988

商务QQ：85926368

关注公众号
访问小程序

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信