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专利状态
晶圆载具的存储装置
有效
专利申请进度
申请
2021-03-19
授权
2021-06-04
预估到期
2031-03-19
专利基础信息
申请号
CN202120570954.1
申请日
2021-03-19
授权公布号
CN213355191U
授权公告日
2021-06-04
分类号
B65D19/06;B65D19/38;B65D85/86
分类
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
申请人名称
台积电(中国)有限公司
申请人地址
中国台湾新竹市
专利法律状态
2021-06-04
授权
状态信息
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆载具的存储装置。本申请实施例的存储装置包括:支撑板,包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部;垫块,固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置,第一端部高于第二端部;止挡块,固定于第二端部的上侧;两个限位板,固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置,第二方向垂直于第一方向;多个传动组件,设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置,各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮,各滚轮可转动地连接于主体部,各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中,沿靠近第二端部的方向,多个滚轮的高度逐渐降低。
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