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专利状态

夹具及扩散装置

有效

专利申请进度

申请

2021-03-23

授权

2021-05-14

预估到期

2031-03-23

专利基础信息

申请号	CN202120586247.1	申请日	2021-03-23
授权公布号	CN213212125U	授权公告日	2021-05-14
分类号	H01L21/67;C30B31/14;C30B31/10;C30B29/06;C30B31/16
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

专利法律状态

2021-05-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及夹具及扩散装置。夹具用于装配喷射管和扩散炉，夹具包括，安装座；以及定位部件，设置于安装座上，定位部件包括互相连接的定位件和连接件，定位件成对设置于连接件的两侧，连接件和位于两侧的定位件界定导向槽，导向槽对喷射管导向和定位。根据本实用新型的夹具，可以提高装置的有效运转时间，并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象，降低硅片的报废概率。

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