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专利状态

晶圆载具的夹取装置

有效

专利申请进度

申请

2021-03-19

授权

2021-05-14

预估到期

2031-03-19

专利基础信息

申请号	CN202120570882.0	申请日	2021-03-19
授权公布号	CN213212139U	授权公告日	2021-05-14
分类号	H01L21/68;H01L21/687
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2021-05-14

授权

状态信息

授权

摘要

本申请实施例提供了一种晶圆载具的夹取装置，包括机械臂、夹持组件和平面精准定位件，平面精准定位件连接于机械臂与夹持组件之间，机械臂带动夹持组件空间移动，平面精准定位件包括传动架、主动轮、从动轮和传送带，传动架与所机械臂连接设置，主动轮和从动轮可转动地连接于传动架，传送带连接主动轮和从动轮；夹持组件包括夹持架、两个夹持件和驱动组件，夹持架沿第一方向延伸且固定于从动轮设置，两个夹持件在第一方向上相对设置且可滑动地连接于夹持架，驱动组件设置于夹持架且驱动两个夹持件靠近或远离。本申请实施例的夹取装置可以实现对晶圆载具的多角度夹持，满足不同情况下的使用要求。

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