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专利状态

一种导向装置

有效

专利申请进度

申请

2022-09-05

授权

2022-11-29

预估到期

2032-09-05

专利基础信息

申请号	CN202222352310.2	申请日	2022-09-05
授权公布号	CN217933731U	授权公告日	2022-11-29
分类号	H01L21/67;H01L21/265
分类	基本电气元件;
申请人名称	台积电（中国）有限公司
申请人地址	中国台湾新竹市

专利法律状态

2022-11-29

授权

状态信息

授权

摘要

本申请公开一种导向装置，用于将加速器导入离子注入机，其特征在于，导向装置包括：引导板，包括沿其厚度方向设置的承载面和背面、开口位于承载面的容纳槽及连接承载面和背面的连接面，承载面沿预设轨迹延伸成型并用于承载加速器，以使加速器能够沿预设轨迹移动，连接面位于预设轨迹的一端；连接机构，连接于连接面并由连接面伸出，连接机构用于与离子注入机连接；滑动机构，安装于容纳槽，滑动机构包括至少一个滚动杆，滚动杆沿与预设轨迹相交的方向延伸成型并与引导板可转动连接，滚动杆用于引导加速器移动。本申请公开的导向装置，提高人员操作安全性的同时，大大提高了安装加速器的效率及成功率。

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