首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
一种显影洗边设备和显影洗边方法
有效
专利申请进度
申请
2020-01-02
申请公布
2020-04-21
授权
2023-07-21
预估到期
2040-01-02
专利基础信息
申请号
CN202010000504.9
申请日
2020-01-02
申请公布号
CN111045299A
申请公布日
2020-04-21
授权公布号
CN111045299B
授权公告日
2023-07-21
分类号
G03F7/30;G03F7/32
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-07-21
授权
状态信息
授权
2020-05-15
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G03F7/30;申请日:20200102
2020-04-21
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供一种显影洗边设备和显影洗边方法,显影洗边设备包括显影液喷洒部和冲洗部;冲洗部内的冲洗喷头安装在晶圆面上方的移动架体上,并可随移动架体一起沿晶圆径向往复移动;显影洗边设备还包括能够喷洒洗边用溶液的洗边部,所述洗边部的洗边喷头设置在所述晶圆面的上方,并能够在设定洗边起始位置与晶圆边缘之间往复移动。使用本发明显影洗边设备和显影洗边方法中可以将显影与洗边工序合二为一,简化了工序步骤,在洗边的过程中其通过将洗边用溶液喷涂在旋转的晶圆边缘从而在显影过程中直接进行光刻胶及有害残留物的清洗,不仅去边能力强,去胶效果佳,而且能够在曝光冲洗后甩干晶圆的同时进行洗边,节省工艺时间,提高了生产效率。
更多专利
1
具有在三维存储器器件中的突出部分的沟道结构和用于形成其的方法
2
三维存储器的制作方法及三维存储器
3
薄膜的检测方法
4
具有标记结构的三维存储器、其制备方法及位移监测方法
5
三维存储器及其制备方法
6
用于多管芯操作的动态峰值功率管理
7
3D存储器件及其制造方法
8
一种晶元的检测方法和装置、电子设备、存储介质
9
存储器的操作方法、存储器及存储系统
10
三维存储器及其制造方法
11
三维存储器及其制作方法
12
电路板和电子设备
13
半导体器件和集成电路
14
透射电镜试样及其制备方法、待测结构的失效分析方法
15
三维存储器及其形成方法
16
三维存储器及其制作方法
17
三维存储器的制造方法及三维存储器
18
三维存储器结构及其制备方法
19
半导体器件的制造方法
20
一种3DNAND存储器件的制造方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部