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专利状态
一种显影洗边设备和显影洗边方法
有效
专利申请进度
申请
2020-01-02
申请公布
2020-04-21
授权
2023-07-21
预估到期
2040-01-02
专利基础信息
申请号 CN202010000504.9 申请日 2020-01-02
申请公布号 CN111045299A 申请公布日 2020-04-21
授权公布号 CN111045299B 授权公告日 2023-07-21
分类号 G03F7/30;G03F7/32
分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称 长江存储科技有限责任公司
申请人地址 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
  • 2023-07-21
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-05-15
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):G03F7/30;申请日:20200102
  • 2020-04-21
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供一种显影洗边设备和显影洗边方法,显影洗边设备包括显影液喷洒部和冲洗部;冲洗部内的冲洗喷头安装在晶圆面上方的移动架体上,并可随移动架体一起沿晶圆径向往复移动;显影洗边设备还包括能够喷洒洗边用溶液的洗边部,所述洗边部的洗边喷头设置在所述晶圆面的上方,并能够在设定洗边起始位置与晶圆边缘之间往复移动。使用本发明显影洗边设备和显影洗边方法中可以将显影与洗边工序合二为一,简化了工序步骤,在洗边的过程中其通过将洗边用溶液喷涂在旋转的晶圆边缘从而在显影过程中直接进行光刻胶及有害残留物的清洗,不仅去边能力强,去胶效果佳,而且能够在曝光冲洗后甩干晶圆的同时进行洗边,节省工艺时间,提高了生产效率。