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专利状态
一种晶元的检测方法和装置、电子设备、存储介质
有效
专利申请进度
申请
2020-01-02
申请公布
2020-06-02
授权
2023-07-07
预估到期
2040-01-02
专利基础信息
申请号
CN202010001380.6
申请日
2020-01-02
申请公布号
CN111223080A
申请公布日
2020-06-02
授权公布号
CN111223080B
授权公告日
2023-07-07
分类号
G06T7/00;G06V10/30;G06V10/48;G06V10/75
分类
计算;推算;计数;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-07-07
授权
状态信息
授权
2020-06-26
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G06T7/00;申请日:20200102
2020-06-02
公布
状态信息
公布
摘要
本公开提供一种晶元的检测方法和装置、电子设备、存储介质。该方法包括:采集加工过程中晶元的图像,其中,图像包括缺陷点,以及与缺陷点对应的坐标信息,依次对图像进行降噪处理、变换处理和特征提取处理,得到与图像对应的特征信息,根据特征信息生成与晶元对应的刮痕信息,通过采用图像识别技术对图像进行识别处理得到特征信息,可以避免因人工的方式识别造成的准确度低等问题,从而实现提高识别的准确性和可靠性,并提高识别的效率,且节约人力成本的技术效果,且通过基于特征信息生成刮痕信息,避免了现有技术中通过人工结合Excel划线工具时造成的效率低和准确度低的问题,进而实现提高确定刮痕信息的效率和准确度的技术效果。
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