申请号 | CN202110142676.4 | 申请日 | 2021-02-02 |
申请公布号 | CN112962085A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
授权公布号 | CN112962085B | 授权公告日 | 2023-09-05 |
分类号 | C23C16/455;C23C16/34;C23C16/40;H10B43/27;H10B43/35 | ||
分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; | ||
申请人名称 | 长江存储科技有限责任公司 | ||
申请人地址 | 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号 |