一种透射电镜的检验方法_专利查询-品牌网

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专利状态

一种透射电镜的检验方法

有效

专利申请进度

申请

2021-02-23

申请公布

2021-06-18

授权

2024-03-01

预估到期

2041-02-23

专利基础信息

申请号	CN202110202374.1	申请日	2021-02-23
申请公布号	CN112986290A	申请公布日	2021-06-18
授权公布号	CN112986290B	授权公告日	2024-03-01
分类号	G01N23/20;G01N23/04
分类	测量；测试;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2024-03-01

授权

状态信息

授权
2021-07-06

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N23/20；申请日:20210223
2021-06-18

公布

状态信息

公布

摘要

本申请实施例公开了一种透射电镜的检验方法，所述方法包括：提供一单晶硅样品；校准透射电镜的第一放大倍率，第一放大倍率大于预设放大倍率；形成位于单晶硅样品上的多个沟道孔；在小于第一放大倍率的多个第二放大倍率下，通过椭圆拟合测量各个第二放大倍率下多个沟道孔中至少三个目标沟道孔的孔间距；将多个第二放大倍率中最高第二放大倍率下的孔间距记为第一孔间距；将多个第二放大倍率中除最高第二放大倍率以外的其他第二放大倍率下的孔间距记为第二孔间距；根据第一孔间距和第二孔间距，计算第二孔间距对应的第二放大倍率的第一准确度；通过第一准确度与标准阈值，对第一准确度对应的第二放大倍率进行检验。

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