一种切片样品的检测方法_专利查询-品牌网

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专利状态

一种切片样品的检测方法

有效

专利申请进度

申请

2021-09-18

申请公布

2021-12-31

授权

2023-10-13

预估到期

2041-09-18

专利基础信息

申请号	CN202111098258.6	申请日	2021-09-18
申请公布号	CN113865915A	申请公布日	2021-12-31
授权公布号	CN113865915B	授权公告日	2023-10-13
分类号	G01N1/06;G01N23/04
分类	测量；测试;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2023-10-13

授权

状态信息

授权
2022-01-21

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N1/06；申请日:20210918
2021-12-31

公布

状态信息

公布

摘要

公开了一种切片样品的检测方法，所述切片样品包括切割面，所述方法包括：测量所述切割面的目标区域的能量损失谱；从所述能量损失谱获得所述目标区域的元素种类或元素信号；以及根据所述目标区域获得的元素种类或元素信号和预期元素种类或元素信号的偏差，估计所述切片样品的偏移程度。本发明通过对切片样品目标区域内的元素种类或元素信号进行分析，从而判断所述切片样品的偏移程度。

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