教育培训
| 申请号 | CN201810457978.9 | 申请日 | 2018-05-14 |
| 申请公布号 | CN110488568A | 申请公布日 | 2019-11-22 |
| 授权公布号 | CN110488568B | 授权公告日 | 2023-12-01 |
| 分类号 | G03F1/72 | ||
| 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; | ||
| 申请人名称 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | ||
| 申请人地址 | 上海市浦东新区张江路18号 | ||
