首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
半导体结构及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2020-06-02
申请公布
2021-11-12
授权
2023-12-15
预估到期
2040-06-02
专利基础信息
申请号
CN202110876449.4
申请日
2020-06-02
申请公布号
CN113644076A
申请公布日
2021-11-12
授权公布号
CN113644076B
授权公告日
2023-12-15
分类号
H10B43/30;H10B43/27
分类
基本电气元件;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-12-15
授权
状态信息
授权
2021-11-30
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/11568;申请日:20200602
2021-11-12
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供一种半导体结构及其制备方法,制备方法包括:提供第一半导体衬底,形成接触牺牲层及栅极底层,形成沟道结构,形成栅极隔槽及具有底部开口的隔槽间隔层,去除接触牺牲层及功能结构层显露沟道层,形成掺杂半导体层。本发明的半导体结构及其制备方法,基于栅极隔槽去除接触牺牲层形成层间间隙,并基于层间间隙去除功能结构层以显露底部外延层,再沉积形成掺杂半导体层,同时实现了底部外延层的电性引出,降低了核心区的面积,从而可以在栅极隔槽中填充绝缘材料形成绝缘填充层,解决了在栅极隔槽中填充金属导电材料所导致的栅极字线与共源线之间的漏电问题,并解决二者之间形成寄生电容的问题。本发明还在器件结构制备中实现了焊盘的加倍。
更多专利
1
存储器件的读取操作中的基于开放块的读取偏移量补偿
2
一种擦除方法、装置及计算机可读存储介质
3
三维存储器的制造方法
4
用于NAND存储器操作的架构和方法
5
半导体器件及其制备方法
6
存储结构、三维存储器及其制造方法
7
检测件与芯片的检测方法
8
半导体结构的制作方法以及半导体结构
9
三维存储器结构及其制备方法
10
气泡缺陷监控方法、装置、服务器及可读存储介质
11
半导体结构及其形成方法
12
一种晶圆的清洗方法及实现其的装置
13
3DNAND存储器件的结构及其形成方法
14
三维存储器及其制备方法、及电子设备
15
具有划分的漏极选择栅极线的三维存储器器件及其形成方法
16
一种切片样品的检测方法
17
一种3DNAND存储器件的制造方法
18
三维存储器及其制作方法
19
三维存储器及其控制方法
20
三维存储器件及其形成方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部