一种单片式清洗机及其卡盘

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专利状态

一种单片式清洗机及其卡盘

有效

专利申请进度

申请

2018-07-20

申请公布

2018-12-11

授权

2024-03-12

预估到期

2038-07-20

专利基础信息

申请号	CN201810804074.9	申请日	2018-07-20
申请公布号	CN108987330A	申请公布日	2018-12-11
授权公布号	CN108987330B	授权公告日	2024-03-12
分类号	H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

专利法律状态

2024-03-12

授权

状态信息

授权
2019-01-04

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/687；申请日:20180720
2018-12-11

公布

状态信息

公布

摘要

本申请实施例公开了一种单片式清洗机及其卡盘，该卡盘包括：基座、卡盘主体、轴承和定位销；其中，所述卡盘主体安装在所述基座上，所述轴承套装在所述基座和所述卡盘主体之间，所述定位销位于所述卡盘主体上；所述定位销包括第一定位销和第二定位销；所述第一定位销用于卡在晶片边缘处；所述第二定位销用于卡在晶片切槽处。因晶片切槽为一个开口较小的凹口，当第二定位销固定在此处时，然后再借助第一定位销对晶片边缘的固定作用，能够将晶片牢固地固定在卡盘上，即使在卡盘高速旋转时，因第二定位销对晶片的固定作用，晶片与卡盘之间也不会产生相对运动。

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