界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置

有效

专利申请进度

申请

2018-09-11

申请公布

2018-11-30

授权

2023-12-08

预估到期

2038-09-11

专利基础信息

申请号	CN201811056823.0	申请日	2018-09-11
申请公布号	CN108922857A	申请公布日	2018-11-30
授权公布号	CN108922857B	授权公告日	2023-12-08
分类号	H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

专利法律状态

2023-12-08

授权

状态信息

授权
2018-12-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/66；申请日:20180911
2018-11-30

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种界面缺陷表征结构及界面缺陷检测装置。所述界面缺陷表征结构包括：衬底；栅介质层，位于所述衬底表面；栅极层，包括位于所述栅介质层表面的第一栅极层和位于所述栅介质层沿沟道宽度方向上的相对两侧的第二栅极层，所述第一栅极层与所述第二栅极层掺杂的离子类型相反。本发明能够有效的表征栅介质层与栅极层接触界面的缺陷密度。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信