首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
三维存储器的制作方法
有效
专利申请进度
申请
2021-08-18
申请公布
2021-11-30
授权
2023-12-01
预估到期
2041-08-18
专利基础信息
申请号
CN202110950419.3
申请日
2021-08-18
申请公布号
CN113725227A
申请公布日
2021-11-30
授权公布号
CN113725227B
授权公告日
2023-12-01
分类号
H10B43/35;H10B43/27
分类
基本电气元件;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-12-01
授权
状态信息
授权
2021-12-17
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/1157;申请日:20210818
2021-11-30
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供了一种三维存储器的制作方法。该制作方法包括以下步骤:提供衬底,衬底上具有堆叠体,堆叠体的至少一端具有台阶结构;在衬底上形成覆盖台阶结构的层间介质层;在层间介质层上形成流体薄膜,使流体薄膜远离衬底的一侧具有第一表面;将流体薄膜固化,得到具有第二表面的平坦层;沿第二表面对层间介质层进行平坦化处理。在层间介质层上形成流体薄膜后,平坦化工艺的对象由现有技术中层间介质层的倾斜表面变成流体薄膜固化后得到的平坦层的平整表面,从而降低了平坦化工艺的难度,保证了表面处理后衬底表面的平整性。
更多专利
1
一种碳薄膜制作方法和设备
2
一种显影洗边设备和显影洗边方法
3
测试样品及其制备方法
4
三维存储器及其制备方法
5
三维存储器及其制作方法
6
三维存储器及其制作方法
7
存储装置及其多遍编程操作
8
半导体器件及其制作方法
9
三维存储器件及用于形成三维存储器件的方法
10
晶圆处理装置及方法
11
三维存储器及其制造方法
12
三维存储器件及其制造方法
13
用于裸片对裸片进行键合的方法和结构
14
一种半导体器件的制备方法
15
具有在三维存储器器件中的突出部分的沟道结构和用于形成其的方法
16
三维存储器及其制备方法
17
晶圆翘曲度测量装置及方法
18
闪存颗粒的改进方法、闪存颗粒、存储器和电子设备
19
用于三维NAND存储器的固件修复
20
一种半导体器件的制备方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部