气泡缺陷监控方法、装置、服务器及可读存储介质

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专利状态

气泡缺陷监控方法、装置、服务器及可读存储介质

有效

专利申请进度

申请

2019-11-12

申请公布

2020-04-28

授权

2024-03-08

预估到期

2039-11-12

专利基础信息

申请号	CN201911099799.3	申请日	2019-11-12
申请公布号	CN111081581A	申请公布日	2020-04-28
授权公布号	CN111081581B	授权公告日	2024-03-08
分类号	H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

专利法律状态

2024-03-08

授权

状态信息

授权
2020-05-22

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/66；申请日:20191112
2020-04-28

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种气泡缺陷监控方法、装置、服务器及可读存储介质，对键合晶圆的扫描图像进行灰度解析，获得气泡缺陷的像素灰度值，以通过像素灰度值对气泡缺陷进行监控。本发明可对气泡缺陷的尺寸大小、气泡缺陷的形状及气泡缺陷的数量进行在线自动监控，可避免人工目检的方式，检测效率高，准确率高，从而具有良好的可靠性，以降低气泡破开概率，降低经济损失，提高生产效率，具有较高的经济价值。

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