键合界面缺陷检测方法及装置

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专利状态

键合界面缺陷检测方法及装置

有效

专利申请进度

申请

2021-12-29

申请公布

2022-04-15

授权

2024-02-13

预估到期

2041-12-29

专利基础信息

申请号	CN202111639615.5	申请日	2021-12-29
申请公布号	CN114354749A	申请公布日	2022-04-15
授权公布号	CN114354749B	授权公告日	2024-02-13
分类号	G01N29/04ICN109216223A,2019.01.15;US2016054268A1,2016.02.25;CN104081200A,2014.10.01;CN109406626A,2019.03.01;CN110672731A,2020.01.10;CN113267562A,2021.08.17;JP2008215828A,2008.09.18;JP2016102665A,2016.06.02;JP6498341B1,2019.04.10;JPH01109485A,1989.04.26;US
分类	测量；测试;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2024-02-13

授权

状态信息

授权
2022-05-03

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N29/04；申请日:20211229
2022-04-15

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种键合界面缺陷检测方法及装置。所述键合界面缺陷检测方法包括如下步骤：放置键合结构于一容纳有流体的处理腔内，使得所述键合结构中的键合界面浸没于所述流体内；控制一探测源在所述流体内沿第一预设轨迹运动，以获得所述键合界面的第一检测图像；根据所述第一检测图像判断所述流体内是否存在干扰物，若是，则控制所述探测源在所述流体内沿第二预设轨迹运动，以获得所述键合界面的第二检测图像；合并所述第一检测图像和所述第二检测图像，以获取所述键合界面的第三检测图像。本发明减少甚至是避免了因干扰物的存在而造成的键合界面缺陷检测的误判或者漏检问题，提高了键合界面缺陷检测的准确度和可靠性。

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