申请号 | CN202010374195.1 | 申请日 | 2020-05-06 |
申请公布号 | CN113629143A | 申请公布日 | 2021-11-09 |
授权公布号 | CN113629143B | 授权公告日 | 2023-12-22 |
分类号 | H01L29/78;H01L29/423;H01L29/10;H01L29/08;H01L23/528;H01L21/336;B82Y10/00 | ||
分类 | 基本电气元件; | ||
申请人名称 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | ||
申请人地址 | 上海市浦东新区张江路18号 |