晶圆切割固定方法及其装置

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专利状态

晶圆切割固定方法及其装置

有效

专利申请进度

申请

2020-09-24

申请公布

2020-12-29

授权

2023-09-08

预估到期

2040-09-24

专利基础信息

申请号	CN202011015849.8	申请日	2020-09-24
申请公布号	CN112151446A	申请公布日	2020-12-29
授权公布号	CN112151446B	授权公告日	2023-09-08
分类号	H01L21/78;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2023-09-08

授权

状态信息

授权
2021-01-15

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/78；申请日:20200924
2020-12-29

公布

状态信息

公布

摘要

一种晶圆切割固定装置，通过设置第一喷水器使晶圆在切割时能够受到往切割桌面方向的力，对所述晶圆按压，保持所述晶圆在切割时的稳定性，从而减少切割刀片切割时所产生的震动，降低碎裂的现象。

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