首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
一种晶圆的清洗方法及实现其的装置
有效
专利申请进度
申请
2021-02-19
申请公布
2021-06-15
授权
2023-10-20
预估到期
2041-02-19
专利基础信息
申请号
CN202110188738.5
申请日
2021-02-19
申请公布号
CN112967924A
申请公布日
2021-06-15
授权公布号
CN112967924B
授权公告日
2023-10-20
分类号
H01L21/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/02;F26B5/08
分类
基本电气元件;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-10-20
授权
状态信息
授权
2021-07-02
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/02;申请日:20210219
2021-06-15
公布
状态信息
公布
摘要
本申请提供一种晶圆的清洗方法和一种晶圆的清洗装置。该清洗方法包括:在晶圆以第一转速旋转的情况下,使用第一清洗液对晶圆进行第一清洗处理;以及在晶圆以第二转速旋转的情况下,使用通入有CO2气体的第二清洗液对晶圆进行第二清洗处理,其中,第二转速小于第一转速。根据该方法,通过在清洗液中加入CO2气体并增加超慢转速的清洗步骤,规避了由于清洗刷与清洗液之间的摩擦所导致的晶圆带电问题,改善了器件的可靠性和稳定性。
更多专利
1
3D存储器件及其制造方法
2
一种三维存储器及其制作方法
3
3D存储器件及其制造方法
4
三维存储器及其制备方法
5
厚度测量方法及装置
6
三维存储器件及用于形成其的方法
7
半导体器件及用于形成半导体器件的方法
8
用于在半导体结构中形成阻挡层的方法
9
存储器结构
10
三维存储器结构及其制备方法
11
晶圆翘曲度测量装置及方法
12
一种显影洗边设备和显影洗边方法
13
叠加式主板固定装置以及主机组件
14
3D存储器件及其制造方法
15
半导体器件及其制作方法
16
具有划分的漏极选择栅极线的三维存储器器件及其形成方法
17
一种半导体器件
18
半导体器件的制作方法
19
检测件与芯片的检测方法
20
在存储块之间具有稳定结构的三维存储器件以及用于形成其的方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部