首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
对准标记及其形成方法
有效
专利申请进度
申请
2020-09-02
申请公布
2022-03-18
授权
2024-01-26
预估到期
2040-09-02
专利基础信息
申请号
CN202010911176.8
申请日
2020-09-02
申请公布号
CN114200796A
申请公布日
2022-03-18
授权公布号
CN114200796B
授权公告日
2024-01-26
分类号
G03F9/00;H01L23/544
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址
上海市浦东新区张江路18号
专利法律状态
2024-01-26
授权
状态信息
授权
2022-04-05
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G03F9/00;申请日:20200902
2022-03-18
公布
状态信息
公布
摘要
一种对准标记及其形成方法,包括:提供衬底,所述衬底包括标记区,所述标记区上具有待处理层;在所述标记区上待处理层内形成第一标记开口;以所述第一标记开口作为对准标,在所述标记区上待处理层内形成第二标记开口,所述第一标记开口与所述第二标记开口相互分立。通过在标记区内形成第一标记开口和第二标记开口,且第一标记开口与第二标记开口相互分立,使得所述第一标记开口与所述第二标记开口不会产生重叠,避免因重复刻蚀所述标记区内的同一位置而造成的刻蚀穿透,进而避免了因刻蚀穿透所造成的刻蚀环境污染以及残留物的产生,避免了所述标记区中的残留物进入到器件区中对器件结构造成的影响,有效提升了最终形成的半导体结构的性能。
更多专利
1
半导体结构及其形成方法
2
CMOS全加器和多位全加器
3
半导体结构及其形成方法
4
半导体结构及其形成方法
5
图形优化方法及掩膜版制造方法
6
图形生成方法及掩膜版的制备方法
7
半导体结构及其形成方法
8
掩膜图形修复方法及掩膜板
9
光学邻近修正模型的校正方法
10
半导体结构及其形成方法
11
一种双模预分频器
12
具有图形的光罩的制造方法
13
半导体结构和半导体结构的形成方法
14
半导体结构的形成方法
15
一种延时电路
16
半导体结构及其形成方法、存储器
17
SRAM存储结构、存储器及控制方法
18
半导体结构及其形成方法
19
自对准双重图形化方法及其形成的半导体结构
20
半导体结构的形成方法、半导体器件
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部