• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
一种光罩的缺陷修复方法及光罩
有效
专利申请进度
申请
2018-07-16
申请公布
2020-01-24
授权
2023-12-01
预估到期
2038-07-16
专利基础信息
申请号 CN201810779833.0 申请日 2018-07-16
申请公布号 CN110727170A 申请公布日 2020-01-24
授权公布号 CN110727170B 授权公告日 2023-12-01
分类号 G03F1/72;G03F1/38
分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 上海市浦东新区张江路18号
专利法律状态
  • 2023-12-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-02-25
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):G03F1/72;申请日:20180716
  • 2020-01-24
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供一种光罩的缺陷修复方法及光罩,所述方法包括:提供待修复光罩,所述待修复光罩包括遮光层以及形成在所述遮光层中的透光图案,所述透光图案包括具有缺陷的待修复图案;在所述待修复图案的外侧形成透光的若干散射条,以对所述待修复图案进行光补偿。本发明的方法过程更加容易控制,降低产生二次损伤缺陷的风险,可以提高修复合格率,降低修复循环次数。