首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
三维存储器及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2020-11-04
申请公布
2021-03-09
授权
2023-09-05
预估到期
2040-11-04
专利基础信息
申请号
CN202011226470.1
申请日
2020-11-04
申请公布号
CN112466881A
申请公布日
2021-03-09
授权公布号
CN112466881B
授权公告日
2023-09-05
分类号
H10B43/10;H10B43/35;H10B43/40;H10B43/27
分类
基本电气元件;
申请人名称
长江存储科技有限责任公司
申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
专利法律状态
2023-09-05
授权
状态信息
授权
2021-03-26
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/11565;申请日:20201104
2021-03-09
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供一种三维存储器及其制备方法,该三维存储器包括外围电路芯片,包括半导体衬底以及依次形成于半导体衬底上的外围电路及互连层,在外围电路芯片的边缘区域形成有显露出半导体衬底的沟槽;依次设置于沟槽及外围电路及互连层上的底部半导体层、中间半导体层及顶部半导体层,中间半导体层由设置于内部区域的中间层主体部和设置于第一沟槽内的中间层连接部组成;在该沟槽内,底部半导体层、中间半导体层及顶部半导体层与半导体衬底电连接。通过在外围电路芯片边缘区域形成沟槽,并利用该沟槽将底部半导体层、半导体牺牲层及顶部半导体层与半导体衬底电连接,可以将阵列蚀刻过程中产生的带电等离子体通过半导体衬底导走。
更多专利
1
3D存储器件及其制造方法
2
半导体器件及用于形成半导体器件的方法
3
半导体器件及其制作方法
4
用于增大半导体器件中的多晶硅晶粒尺寸的阶梯式退火工艺
5
用于三维存储器的叠层结构、三维存储器及其制备方法
6
存储器结构
7
测试样品及其制备方法
8
晶圆键合的控制方法、控制装置、处理器和键合系统
9
一种擦除方法、装置及计算机可读存储介质
10
一种碳薄膜制作方法和设备
11
存储器编程方法及系统
12
一种三维存储器及其制备方法
13
三维存储器的制备方法
14
用于NAND存储器操作的架构和方法
15
一种半导体器件的制备方法
16
用于校准粒子束的垂直度的方法以及应用于半导体制造工艺的系统
17
存储器器件及其制造方法
18
半导体器件和集成电路
19
改善晶圆的关键尺寸均匀性的方法与装置
20
三维存储器的制作方法及三维存储器
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部