磷扩散的硅片承载装置_专利查询-品牌网

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专利状态

磷扩散的硅片承载装置

失效

专利申请进度

申请

2013-09-29

授权

2014-03-12

预估到期

2023-09-29

专利基础信息

申请号	CN201320604230.X	申请日	2013-09-29
授权公布号	CN203481199U	授权公告日	2014-03-12
分类号	H01L21/673;H01L21/683
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市新北区河海西路168号

专利法律状态

2023-10-20

专利权的终止

状态信息

专利权有效期届满；IPC(主分类):H01L 21/673；专利号:ZL201320604230X；申请日:20130929；授权公告日:20140312；终止日期:
2014-03-12

授权

状态信息

授权

摘要

实用新型涉及一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟，而其：还包括两端有端侧板的石英托架，且石英托架的底部呈圆弧形结构而形成沉腔，在沉腔的底下表面有分开布置的支脚，所述石英舟设在石英托架的沉腔内，且石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口。本实用新型具有结构简单，硅片易于与石英管相分离，且生产成本较低等优点。

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