一种硅片清洗设备的夹爪组件

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专利状态

一种硅片清洗设备的夹爪组件

有效

专利申请进度

申请

2022-08-15

授权

2023-02-14

预估到期

2032-08-15

专利基础信息

申请号	CN202222138007.2	申请日	2022-08-15
授权公布号	CN218482216U	授权公告日	2023-02-14
分类号	H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市常州高新技术产业开发区河海西路168号

专利法律状态

2023-02-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗设备的夹爪组件，包括与清洗设备输出动力固定连接的夹持板；所述夹持板的底部固定有夹持架；所述夹持板上位于夹持架的上方设有用于检测夹持架是否夹紧花篮的检测机构。本实用新型在夹持板的底部设置了夹持架，通过夹持架与花篮配合，不会阻碍花篮内的硅片清洗，提高了硅片清洗效果，同时设置了用于检测夹持架是否夹紧花篮的检测机构，能够保证对花篮的夹紧力，避免损坏花篮，从而节约了生产成本。

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