六角形硅片的制造方法_专利查询-品牌网

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专利状态

六角形硅片的制造方法

有效

专利申请进度

申请

2009-07-24

申请公布

2010-02-10

授权

2012-01-18

预估到期

2029-07-24

专利基础信息

申请号	CN200910183893.7	申请日	2009-07-24
申请公布号	CN101643940A	申请公布日	2010-02-10
授权公布号	CN101643940B	授权公告日	2012-01-18
分类号	H01L21/301;G03F7/20;C30B29/64
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市新北区河海西路168号

专利法律状态

2014-03-12

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L21/301；变更事项:专利权人；变更前:常州银河半导体有限公司；变更后:常州银河电器有限公司；变更事项:地址；变更前:213022 江苏省常州市新北区河海西路168号；变更后:213022 江苏省常州市新北区河海西路168号；登记生效日:20140214
2012-01-18

授权

状态信息

授权
2010-04-14

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C30B 33/10申请日:20090724
2010-02-10

公布

状态信息

公布

摘要

本发明所公开的是一种六角形硅片的制造方法，以经过合金化处理的扩散片为加工对象，且依次包括如下步骤：上胶，光刻，显影，坚膜，酸腐蚀，清洗，剥离；以其所述光刻步骤所采用的基准板，是具有六角形蜂窝状图纹的基准板，且其具有六角形蜂窝状图纹区的边缘，与所述扩散片的边缘之间保持距离；所述光刻步骤，是将扩散片布置在2块经校整重合其六角形蜂窝状图纹的基准板之间，所实施的双面同步光刻为主要特征。本发明具有产成品成型正确，生产成本低、原料硅片利用率高等特点。

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