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专利状态
一种管式匀流器
有效
专利申请进度
申请
2022-09-22
授权
2022-12-20
预估到期
2032-09-22
专利基础信息
申请号
CN202222518470.X
申请日
2022-09-22
授权公布号
CN218089791U
授权公告日
2022-12-20
分类号
C23C16/455
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
常州银河电器有限公司
申请人地址
江苏省常州市高新技术产业开发区河海西路168号
专利法律状态
2022-12-20
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆加工技术领域,具体涉及一种管式匀流器,包括匀流组件、密封组件和进排气组件,所述密封组件固定安装于匀流组件的端部用于匀流组件的密封,所述进排气组件固定安装于密封组件的端部用于进气和排气,本实用新型的一种管式匀流器,通过设计管式的匀流管,并将匀流管置于高温炉管中,能够使特殊气体经过匀流管外壁的散气孔进入匀流管内,使管内气体分布均匀,解决了现有技术中管内特殊气体分布不均,导致晶圆硅片表面特殊气体沉积物附着效果不一致的问题。
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