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专利状态

一种斜插式四棒刻槽笼舟

有效

专利申请进度

申请

2022-09-22

授权

2023-02-17

预估到期

2032-09-22

专利基础信息

申请号	CN202222518976.0	申请日	2022-09-22
授权公布号	CN218498036U	授权公告日	2023-02-17
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市高新技术产业开发区河海西路168号

专利法律状态

2023-02-17

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及晶圆片处理领域，具体涉及一种斜插式四棒刻槽笼舟，包括两个固定棒、两个上槽棒和两个下槽棒，两个所述下槽棒滑动设置于底座的上端，两个所述上槽棒通过连接棒对称并固定设置于两个下槽棒顶部的两侧，本实用新型的一种斜插式四棒刻槽笼舟，通过设计上槽棒和下槽棒能够解决传统双棒刻槽舟无法限制晶圆片上部的问题，并且通过在上槽棒和下槽棒上开设倾斜的卡槽，能够在有效防止晶圆片倾斜的基础上使晶圆片保持一定的插入倾角，可以使气体更好的浸润到每一块晶圆片，可转动的笼舟上部，可以轻微的调整笼舟上部的角度，使气体可以吹到每一块晶圆片，从而保证气体在每块晶圆片间都存在。

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