首页
品牌
排行
问答
专题
特惠
资讯
展会
百科
热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容
热门行业
教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴
装修建材
卫浴洁具
板材
地板
建筑陶瓷
天花板
涂料
瓷砖泥瓦
水电管材
火锅
快餐
生活用品
软装
装饰装潢
灯具
家纺
干洗服务
内衣
男装
女装
幼教
整体卫浴
地板砖
阻燃板
铝材
集成吊顶
美缝剂
硅藻泥
管材
烤鱼
汉堡
叶酸
婴儿用品
婴儿床
指纹锁
品牌首页
品牌资讯
企业信息
商标信息
专利信息
返回上一页
专利状态
套刻量测系统矫正方法
有效
专利申请进度
申请
2020-10-29
申请公布
2022-05-03
授权
2024-01-26
预估到期
2040-10-29
专利基础信息
申请号
CN202011185631.7
申请日
2020-10-29
申请公布号
CN114428444A
申请公布日
2022-05-03
授权公布号
CN114428444B
授权公告日
2024-01-26
分类号
G03F7/20;G03F9/00
分类
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
申请人名称
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址
上海市浦东新区张江路18号
专利法律状态
2024-01-26
授权
状态信息
授权
2022-05-20
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G03F7/20;申请日:20201029
2022-05-03
公布
状态信息
公布
摘要
一种套刻量测系统矫正方法,包括:将晶圆置于初始位置;获取当前套刻偏差反映在晶圆层面的旋转量;计算N个信号点当前的统计套刻旋转偏差;重复进行沿光轴方向移动晶圆的步骤,并在移动晶圆后,获取当前套刻偏差反映在晶圆层面的旋转量并计算N个信号点当前的统计套刻旋转偏差,直至所述晶圆移动范围达到预定移动范围;获取所述统计套刻旋转偏差与所述晶圆移动位置的关系图表,以得到最优移动位置;沿光轴方向移动晶圆至最优移动位置,完成矫正,最优移动位置为统计套刻旋转偏差为0值时对应的晶圆移动位置。矫正方法有助于消除信号点处于倾斜面上引起的系统量测误差,进而防止误判。
更多专利
1
半导体结构及半导体结构的形成方法
2
隧穿场效应晶体管及其形成方法
3
半导体结构及其形成方法
4
半导体结构及其形成方法
5
封装结构及其形成方法
6
半导体结构及其形成方法
7
半导体结构及其形成方法
8
半导体结构及其形成方法
9
半导体结构及半导体结构的形成方法
10
半导体结构及其形成方法
11
半导体结构及其形成方法
12
半导体结构及其形成方法
13
半导体结构及其形成方法
14
半导体结构及其形成方法
15
半导体结构及其形成方法
16
半导体结构及其形成方法
17
一种脉冲产生电路
18
研磨速率的修正方法
19
半导体结构及其形成方法
20
半导体器件及其形成方法
全国服务热线:
在线客服
1211389656
咨询
商务合作
85926368
咨询
媒体合作
921888730
咨询
在线客服
客服微信号
品牌网官方客服微信
打开微信扫一扫
客服微信
商务合作微信
商务合作详谈
打开微信扫一扫
商务合作
回到顶部