教育培训
| 申请号 | CN202010373385.1 | 申请日 | 2020-05-06 |
| 申请公布号 | CN113629140A | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 授权公布号 | CN113629140B | 授权公告日 | 2023-12-22 |
| 分类号 | H01L29/78;H01L23/538;H01L23/528;H01L21/768;H01L21/336 | ||
| 分类 | 基本电气元件; | ||
| 申请人名称 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | ||
| 申请人地址 | 上海市浦东新区张江路18号 | ||
