研磨速率的修正方法_专利查询-品牌网

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专利状态

研磨速率的修正方法

有效

专利申请进度

申请

2020-04-03

申请公布

2021-10-26

授权

2024-01-26

预估到期

2040-04-03

专利基础信息

申请号	CN202010260047.7	申请日	2020-04-03
申请公布号	CN113547446A	申请公布日	2021-10-26
授权公布号	CN113547446B	授权公告日	2024-01-26
分类号	B24B37/005;B24B37/04;B24B41/00;B24B49/00;B24B53/017;B24B57/02
分类	磨削；抛光;
申请人名称	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请人地址	上海市浦东新区张江路18号

专利法律状态

2024-01-26

授权

状态信息

授权
2021-11-12

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B24B37/005；申请日:20200403
2021-10-26

公布

状态信息

公布

摘要

一种研磨速率的修正方法，包括：提供标准研磨曲线P标以及标准平均研磨速率R标；获取P标对应的标准压力F标，以及研磨垫整理器在研磨垫不同区域的标准停留时间T1标～Tn标，n为大于等于1的自然数；对待修整研磨垫进行第一次测试，获得第一研磨速率曲线P1以及第一平均研磨速率R1；根据F标、R标以及R1获得第一压力F1；根据T1标～Tn标、P标以及P1，获得研磨垫整理器在待修整研磨垫不同区域的第一停留时间T1～Tn；采用第一压力F1以及第一停留时间T1～Tn，对所述待修整研磨垫进行修整，得到修整后的研磨垫。本发明实施例提供的研磨速率的修正方法，方便快速地对研磨垫进行修整，使研磨速率曲线和研磨速率修正到理想状态，并且提高了晶圆研磨试运行的成功率。

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