厚度测量方法及装置_专利查询-品牌网

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

厚度测量方法及装置

有效

专利申请进度

申请

2022-03-16

申请公布

2022-06-03

授权

2023-09-12

预估到期

2042-03-16

专利基础信息

申请号	CN202210260513.0	申请日	2022-03-16
申请公布号	CN114577151A	申请公布日	2022-06-03
授权公布号	CN114577151B	授权公告日	2023-09-12
分类号	G01B15/02
分类	测量；测试;
申请人名称	长江存储科技有限责任公司
申请人地址	湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2023-09-12

授权

状态信息

授权
2022-06-21

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01B15/02；申请日:20220316
2022-06-03

公布

状态信息

公布

摘要

公开了一种厚度测量方法，包括：获取待测样品，所述待测样品包括叠层结构以及贯穿所述叠层结构的沟道柱，所述叠层结构包括交替堆叠的多个层间绝缘层和多个虚拟栅极层，其中，所述虚拟栅极层包括依次形成的高K介质层、氮化钛层和介质层；对所述待测样品进行减薄处理得到待测样本；根据扫描透射电子显微镜的优化参数采集所述待测样本的扫描透射电子暗场图像；对所述扫描透射电子暗场图像进行自动厚度测量，得到所述待测样本中所述氮化钛层的厚度。本发明实施例提供的厚度测量方法，将原来的金属层填充替换成介质层填充从而形成虚拟栅极层，使得在后续的扫描透射电子暗场图像上可以清晰地识别出氮化钛层的边界。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信