教育培训
| 申请号 | CN201910336081.5 | 申请日 | 2019-04-24 |
| 申请公布号 | CN111856874A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 授权公布号 | CN111856874B | 授权公告日 | 2023-12-22 |
| 分类号 | G03F1/72;C23C16/30;C23C16/04 | ||
| 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; | ||
| 申请人名称 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | ||
| 申请人地址 | 上海市浦东新区张江路18号 | ||
