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专利状态
一种RC-IGBT的背面设计
失效
专利申请进度
申请
2017-12-22
授权
2018-07-10
预估到期
2027-12-22
专利基础信息
申请号 CN201721817507.1 申请日 2017-12-22
授权公布号 CN207602542U 授权公告日 2018-07-10
分类号 H01L21/8222;H01L21/266
分类 基本电气元件;
申请人名称 江苏宏微科技股份有限公司
申请人地址 江苏省常州市新北区华山中路18号
专利法律状态
  • 2024-01-05
    专利权的终止
    状态信息
    未缴年费专利权终止;IPC(主分类):H01L 21/8222;专利号:ZL2017218175071;申请日:20171222;授权公告日:20180710;终止日期:
  • 2018-07-10
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型提供一种RC‑IGBT的背面设计,包括背面注入使用两层光刻版,一层用于N+注入,一层用于P+注入,最终背面N+掺杂区呈T型结构,实现寄生二极管VF可调,IGBT压降可调,正向导通时起到抑制甚至是消除Snapback现象的作用,两层光刻版,第一层用于阻挡N+注入,未阻挡部分开口尺寸L1,第二层用于阻挡P+注入,阻挡部分开口尺寸L2,L1>L2,通过调整L1和L2的尺寸可以调整寄生二极管VF,IGBT压降及snapback曲线,本实用新型结构简单,通过增加一次背面光刻注入工艺,背面注入两张光刻版的尺寸设计和组合,即可实现寄生二极管VF可调,IGBT压降可调,正向导通时起到抑制甚至是消除Snapback现象的作用,增加了设计的灵活度。