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专利状态

一种硅片提篮

有效

专利申请进度

申请

2022-08-09

授权

2023-02-10

预估到期

2032-08-09

专利基础信息

申请号	CN202222087839.6	申请日	2022-08-09
授权公布号	CN218471908U	授权公告日	2023-02-10
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	常州银河电器有限公司
申请人地址	江苏省常州市常州高新技术产业开发区河海西路168号

专利法律状态

2023-02-10

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅片提篮，包括基框；所述基框具有多个硅片放置区；每个硅片放置区上均可拆卸连接有硅片放置篮；所述基框的中部设有连接部；所述连接部上固定有与清洁设备配合的夹持部；所述夹持部上设有提手。本实用新型在基框上设置了多个硅片放置区，能够放置较多的硅片放置篮，从而提高了硅片的放置量，设置了与清洁设备配合的夹持部，使得硅片提篮能够配合清洗设备进行自动化清洗，从而提高了生产效率。

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