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专利状态

一种甩胶腔体结构

有效

专利申请进度

申请

2020-09-25

授权

2021-07-27

预估到期

2030-09-25

专利基础信息

申请号	CN202022126686.2	申请日	2020-09-25
授权公布号	CN213792317U	授权公告日	2021-07-27
分类号	B05B12/36;H01L21/67
分类	一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
申请人名称	江苏长电科技股份有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号

专利法律状态

2021-07-27

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种甩胶腔体结构，它包括腔体（1），所述腔体（1）内设置有转轴（2），所述转轴（2）顶部设置有托盘（3），所述腔体（1）内壁上均匀设置有多个挡板（4）。本实用新型一种甩胶腔体结构，它能够解决传统结构腔体在甩胶过程中出现的因胶体反溅到晶圆边缘导致胶层偏厚以及胶体颗粒残留的问题。

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