• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
紧凑型柔性基材磁控溅射镀膜设备及方法
有效
专利申请进度
申请
2016-06-30
申请公布
2016-10-26
授权
2018-10-23
预估到期
2036-06-30
专利基础信息
申请号 CN201610514495.9 申请日 2016-06-30
申请公布号 CN106048546A 申请公布日 2016-10-26
授权公布号 CN106048546B 授权公告日 2018-10-23
分类号 C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州大道
专利法律状态
  • 2018-10-23
    授权
    状态信息
    授权
  • 2016-11-23
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20160630
  • 2016-10-26
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明公开一种紧凑型柔性基材磁控溅射镀膜设备及方法,其设备是在真空室内设有分区隔板,真空室内的空间分隔成卷绕区和镀膜区,分区隔板上设有供柔性基材通过用的通孔,柔性基材贯穿于整个真空室中,加热器和离子源设于卷绕区内,磁控溅射装置设于镀膜区内;镀膜区内设有多个单元隔板,将镀膜区内的空间分隔成一个柔性基材输送单元和多个镀膜单元。其方法是分别对真空室内的卷绕区和镀膜区进行抽真空,放卷辊放出的柔性基材先经过卷绕区,在卷绕区内进行离子处理和预加热,再送入镀膜区,由多个镀膜单元依次进行溅射镀膜,最后送至卷绕区,由收卷辊进行收卷。本发明结构紧凑,节约设备成本,同时可有效防止不同工艺阶段的工作气氛相互影响。