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专利状态
一种超薄薄膜加工用的一体式卷绕镀膜装置
有效
专利申请进度
申请
2022-07-21
授权
2023-01-06
预估到期
2032-07-21
专利基础信息
申请号 CN202221893512.1 申请日 2022-07-21
授权公布号 CN218232564U 授权公告日 2023-01-06
分类号 C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/14;C23C14/02
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)
专利法律状态
  • 2023-01-06
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开一种超薄薄膜加工用的一体式卷绕镀膜装置,包括沿基材输送方向依次分布的放膜区、镀膜区和收膜区,相邻的两个区域之间设有供基材通过用的第一基材通道,第一基材通道处设有真空锁,放膜区和镀膜区还分别外接有抽真空机组;镀膜区中至少设有两个镀膜辊,在相邻的两个镀膜辊之间,基材的两面进行交替镀膜。本一体式卷绕镀膜装置结构紧凑、占地面积小,设备的制造成本也较低;同时,由于装置整体结构紧凑,超薄薄膜的整体展开长度和输送行程较短,可有效避免超薄薄膜起皱而影响镀膜质量的现象发生;另外,镀膜区内采用对基材的两面交替进行镀膜和冷却的方式,也可以有效防止超薄薄膜因温度过高而产生起皱变形的现象发生。