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专利状态
用于真空镀膜设备的异向蒸发装置
有效
专利申请进度
申请
2020-12-07
授权
2021-08-31
预估到期
2030-12-07
专利基础信息
申请号 CN202022909807.0 申请日 2020-12-07
授权公布号 CN214088642U 授权公告日 2021-08-31
分类号 C23C14/24;C23C14/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)
专利法律状态
  • 2021-08-31
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置,包括蒸发源和蒸发材料导流器,蒸发源上设有镀膜材料放置槽,镀膜材料放置槽上部设有开口,蒸发材料导流器中设有导流通道,导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通,导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面。其方法是通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器,蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后,产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向,根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向,从而适应工件的多种不同输送方式。本实用新型可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜,适应工件的不同输送方式,提高生产效率。