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专利状态
一种柔性基材镀厚膜用的镀膜设备
有效
专利申请进度
申请
2017-08-03
授权
2018-03-06
预估到期
2027-08-03
专利基础信息
申请号
CN201720973195.7
申请日
2017-08-03
授权公布号
CN207072969U
授权公告日
2018-03-06
分类号
C23C14/56;C23C14/24;C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址
广东省肇庆市端州大道
专利法律状态
2018-03-06
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开一种柔性基材镀厚膜用的镀膜设备,包括依次连接的放卷室、离子处理室、多个镀膜室和收卷室,离子处理室和多个镀膜室沿镀膜水冷辊的外周进行分布,放卷室和收卷室分别设于镀膜水冷辊的两侧;多个镀膜室中,位于中部的镀膜室中设置连续式蒸发镀膜源,其余各镀膜室中设置中频磁控靶。其方法是柔性基材完成离子处理后,沿镀膜水冷辊的转动依次送入各个镀膜室中,先由中频磁控靶对柔性基材表面进行至少一次溅射镀膜,然后通过连续式蒸发镀膜源对柔性基材进行蒸发镀膜,再由中频磁控靶对柔性基材表面进行至少一次溅射镀膜,最后送出。本实用新型可实现柔性基材表面厚膜层的镀制,镀膜效率高,膜层表面均匀性也高。
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